ISSN: 2379-1764
中島 杏里
本論文では、生物学および医学の先端技術の観点から、ナノ複合有機電子ビーム(EB)レジストポリマーの概要を説明します。有機デバイスの未解決の問題は、サブミクロンまたはナノメートルスケールの構造の横方向のサイズと位置を同時に制御することが難しいことです。[6,6]-フェニル-C61酪酸メチルエステル(PCBM)を含むZEP520aのナノ複合EB有機レジストは、ナノメートル横方向スケールの有機電子デバイスに最適な導電性材料です。ナノ複合体中のPCBM凝集体の分布を調べます。その結果、多重化および同時診断用の電気ナノワイヤと単一電子トランジスタを備えた高密度に統合された高感度バイオセンサーを簡単に製造できるようになります。