質量分析と精製技術
オープンアクセス

概要

新しい原理を用いた AuGe-LMIS の質量分離: 回転電場

野島将司、則川登紀夫、岸本直也

我々は、2つの回転電場（REF）を使用した新しい原理の質量分析装置を開発しています。この質量分析装置は、自由質量範囲でのイオンビームの連続質量分離と2次元（2D）平面での同時検出を実現できます。この論文では、適切な周波数でのAuGe液体金属イオン源（LMIS）の質量分離を目的としました。次に、理論計算によってREF内のイオン軌道をシミュレートし、各環状リングパターンの起源を特定しました。最後に、Siウェハ上に印刷されたAuGe環状リングパターンの飛行時間型二次イオン質量分析（TOF-SIMS）イメージングによって理論計算の確実性を確認しました。