栄養と食品科学ジャーナル
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概要

太陽電池用途向けに反応熱蒸発法で作製したアルミニウムドープ酸化亜鉛（アゾ）薄膜の特性評価

ムグァンア FK、カリミ PK、ニョロゲ WK、オマイオ O

アルミニウムをドープした酸化亜鉛 (AZO) 薄膜は、Edward Auto 306 マグネトロン スパッタリング システムを使用した反応性熱蒸着法で堆積されました。準備されたすべての薄膜サンプルについて、UV-VIS NIR 分光光度計 Solid State 3700 DUV を使用して、300 nm ～ 2500 nm の範囲の透過率と反射率のデータを取得しました。70% を超える透過率が観測されました。光学測定は、薄膜の光学定数と光学バンドギャップを決定するために SCOUT 98 ソフトウェアを使用してシミュレートされました。これらの膜の光学特性は、アルミニウムのドーピング率を変えることで変化しました。アルミニウムの濃度が増加すると、可視範囲の透過率が低下することが観察されました。これは、自由キャリアが電界に結合して反射が増加するためです。アルミニウムをドープしたさまざまな薄膜サンプルの光学バンドギャップは、アルミニウムの濃度が増加すると、直接許容遷移と光吸収端のシフトを示します。これらの結果は、バンドギャップの値が 3.2 eV から 3.5 eV の範囲であることを示しています。0% から 3% の間では、光学バンドギャップが減少します。これに続いて、4% から 6% のドーピングでバンドギャップが広がります。アーバッハ エネルギーは、バンドギャップの増加とともに徐々に増加します。バンドギャップは、アーバッハ エネルギーの増加に対応して伝導帯の近くに局在状態が形成されるために減少します。